干涉儀是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(~10-7米)，所以干涉儀是以光波波長為單位測(cè)量光程差的。
 
 

　　白光干涉儀的常見故障解決
 

　　1、干涉環(huán)不圓正
 

　　原 因:
 

　　(1)分光板膜層面反向。
 

　　(2)兩組出射光瞳錯(cuò)位。
 

　　(3)分光板、補(bǔ)償板、移動(dòng)鏡及參考鏡有壓應(yīng)力。
 

　　檢修方法:分光板膜層應(yīng)是入射光的第二面，如裝在第一面，則調(diào)出的等傾干圓涉環(huán)是直的橢圓形干涉環(huán)，可旋松分光板的三只寬頭螺釘，取出分光 板，反過180°重新裝入金屬框內(nèi)，把三只寬頭螺釘旋到原來的壓緊力。分光板調(diào)整請(qǐng)參考故障檢修方法。分光板，補(bǔ)償板的寬頭螺釘，移動(dòng)鏡及參考鏡的調(diào)節(jié)滾花螺釘壓緊 力過大，使各鏡片逐步變形產(chǎn)生等傾干涉圓環(huán)不規(guī)則，適當(dāng)放松過緊的 螺釘即可消除。
 

　　2、讀數(shù)空位大于 0.03mm
 

　　原 因:
 

　　(1)傳動(dòng)螺母和絲桿的配合間隙大。
 

　　(2)拖板體下面的頂塊間隙偏大。
 

　　(3)檔板與導(dǎo)軌配合過松。
 

　　檢修方法:可先調(diào)整頂塊間隙，拖板體在工作狀態(tài)下旋松頂塊螺釘，左手大拇 指將拖板體向讀數(shù)頭方向輕推，中指壓緊頂塊，然后固緊頂塊螺釘。如果仍未達(dá)到要求，調(diào)整檔板與導(dǎo)軌的間隙達(dá) 0.02mm，再調(diào)節(jié)傳動(dòng)螺母上 的兩只螺釘(老產(chǎn)品有四只)。
 

　　3、 轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪時(shí)拖板不走。
 

　　原 因:
 

　　(1)儀器受強(qiáng)烈沖擊后，絲桿向尾架方向脫出，造成讀數(shù)頭嚙合齒輪錯(cuò)位。
 

　　(2) 傳動(dòng)小齒輪固緊螺母松動(dòng)， 造成傳動(dòng)小齒輪與絲桿打滑。
 

　　(3)大齒輪及粗動(dòng)手輪的壓緊螺母松動(dòng)。
 

　　檢修方法:首先檢查粗動(dòng)手輪壓緊螺母，然后檢查精密絲桿是否向尾架方向脫出，如已脫出，可松動(dòng)尾架三只螺釘，一面將絲桿推向讀數(shù)頭，一面慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪，最后旋緊尾架三只螺釘，如果是小齒輪固緊螺母和大齒輪固緊螺母松動(dòng)，先拆去傳動(dòng)盒蓋，再拆下門字架，固緊螺母，重新依次裝配即可。
 

　　4、轉(zhuǎn)動(dòng)微動(dòng)手輪時(shí)拖板不走。
 

　　原 因:
 

　　(1)傳動(dòng)小齒輪壓緊螺母松，使盆形彈簧片無壓緊力，造成 蝸輪空轉(zhuǎn)。
 

　　(2)粗微動(dòng)有脫開機(jī)構(gòu)的干涉儀，蝸桿壓緊彈簧片失靈。
 

　　(3)微動(dòng)手輪壓緊螺母松。
 

　　檢修方法:先檢查微動(dòng)手輪的壓緊螺母。然后打開傳動(dòng)盒蓋，取下門字架，旋緊傳動(dòng)小齒輪壓緊螺母，使盆形彈簧片壓緊蝸輪，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)蝸輪應(yīng)帶動(dòng)精密絲桿，依次裝好拆下的另件。 如果是脫開機(jī)構(gòu)，應(yīng)檢查蝸桿拖板是否已被壓死。如被壓死，可拆 下左右壓塊，清洗、上油(7101 油脂)重新裝配即可，如蝸桿拖板較松，說明蝸桿拖板的彈簧壓力減小，(1)可拆下彈簧改小 R 增加彈性。(2)調(diào)換彈簧片。
 

　　5、轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪時(shí)，等傾干涉環(huán)從中心向外漂移。
 

　　原 因:入射的光源不垂直于移動(dòng)鏡。
 

　　檢修方法:此種現(xiàn)象，并非儀器故障，主要是入射的光源不垂直于移動(dòng)鏡，因多數(shù)易誤解為導(dǎo)軌直線性不好所致，故亦在此說明。首先調(diào)整干涉儀三只底腳調(diào)平螺釘，使儀器基本按放水平，然后調(diào)整光源，使擴(kuò)束激光充滿固定鏡，將移動(dòng)鏡調(diào)至零光程附近，轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪調(diào)等傾直條紋，說明擴(kuò)束激光基本垂直于移動(dòng)鏡，此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)粗動(dòng)手輪出現(xiàn)的干涉圓環(huán)就不 會(huì)漂移。
 

　　6、白光干涉條紋不對(duì)稱。
 

　　原 因:
 

　　(1)受運(yùn)輸沖擊或使用過程中碰過分光板和補(bǔ)償板兩板平行 度已被破壞。
 

　　檢修方法:調(diào)整分光板與補(bǔ)償板的平行性，在沒有自準(zhǔn)直儀時(shí)，可通過兩板同時(shí)觀察室內(nèi)目標(biāo)物。如日光燈，調(diào)節(jié)兩板上的寬頭螺釘，使雙象基本重合，這時(shí)調(diào)出的白光彩色條紋可達(dá)到基本對(duì)稱，如仍有不對(duì)稱現(xiàn)象，可調(diào)節(jié)補(bǔ)償板的三只寬頭螺釘達(dá)到*對(duì)稱。
 

　　7、 波長測(cè)定值偏長。
 

　　原 因:
 

　　(1)拖板體測(cè)面彈簧片壓力太緊。
 

　　(2)檔板與導(dǎo)軌配合過緊。
 

　　(3)導(dǎo)軌面潤滑油脂太厚。
 

　　(4)蝸輪稍有打滑。
 

　　(5)絲桿尾架壓緊力偏小。
 

　　檢修方法:先檢查拖板體測(cè)面的彈簧片是否太緊，如太緊可將彈簧變形減少壓力的辦法解決。第二取下拖板體，檢查開合螺母上的檔板與導(dǎo)軌面的配合是否過緊，如過緊可調(diào)整檔板，旋松兩只螺釘，提高檔板與導(dǎo)軌接觸 處墊入 0.02mm 厚的錫片，放下檔板，固緊螺釘，拿掉錫片。第三導(dǎo)軌如加上厚的油脂，會(huì)使拖板增加阻尼或厚的油脂上帶有雜質(zhì)，會(huì)使拖板不 按導(dǎo)軌直線移動(dòng)。應(yīng)清洗后重新上油。第四檢查尾架內(nèi)的彈簧，如壓緊 力偏小，可把滾花螺套旋出，將彈簧拉長即可。如遇蝸輪稍有打滑，檢修時(shí)必須小心拆裝，先拆下傳動(dòng)盒蓋，拆下門字架，取下小鋼球，旋下小齒輪壓緊螺母，用專用夾具取下讀數(shù)盤， 平面軸承，盆形彈簧片、蝸輪等。在汽油中清洗、烘干，重新涂硬性潤滑油脂(杭光 3#或 7107 油脂)，重新裝配時(shí)可在平面軸承與讀數(shù)盤之間 加 0.2mm 的金屬墊片，手感磨擦力有所增加后，依次重新裝配，再進(jìn)行測(cè)量檢查。